講座

プラズマと分光分析
�T．概　論

Plasma and Spectroscopic Analysis
�T．Introduction

岡本 幸雄
Yukio OKAMOTO

本講座では、プラズマ分光のためのプラズマの基礎からその最新の応用としての高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法はじめレーザー誘起プラズマ分光法やその他のプラズマ分光分析法などについて解説する。さらに、プラズマ診断に用いられている分光法による電子温度や密度などのプラズマパラメータの求め方の原理と具体的な方法などについて詳述べる。この講座は６回シリーズで構成され、最初にプラズマの基礎について概説する。

This intensive course gives fundamentals of plasma physics for plasma spectroscopy and its advanced applications such as inductively-coupled plasma atomic emission spectrometry, laser-induced plasma spectroscopy, optical emission spectrometry with glow discharges, etc. The theory of the optical methods used in the plasma diagnostics and the methods for determining plasma parameters such as electron temperature, plasma density, etc. will be described. This course is composed of the series six times and the first part reviews the fundamentals of plasma physics.

Keywords: Plasma, Plasma frequency, Debye length, Inductively-coupled plasma, Microwave-induced plasma, Emission spectrometry, Laser-induced plasma, Surface-wave plasma, Okamoto cavity