講座

X線分光の現在
II.　 走査型X線顕微鏡を用いた蛍光X線分析

Modern X-Ray Spectroscopy
II. X-ray Fluorescence Analysis with Scanning X-ray Microprobe

寺田靖子
Yasuko TERADA

走査型X線顕微鏡を中心に，顕微鏡の発展を支えるX線集光光学素子の現状を紹介する．SPring-8の特徴を活かした100keV程度の高エネルギーX線領域においてフレネルゾーンプレート及び全反射ミラーにより，1μm以下という集光サイズが得られた．このようなマイクロビームをプローブとした走査型X線顕微鏡により，環境試料中の重金属元素の分布や化学状態を明らかにした．

A recent advance in X-ray microscope is reviewed. X-ray focusing optics such as total-reflection mirror and Fresnel zone plate for high energy X-ray region were developed, and a focused beam size of almost 1μm was achieved in an energy range below 100 keV. This paper also introduces some practical examples, obtained by a scanning X-ray microprobe at SPring-8.

Keywords: X-ray fluorescence analysis, High-energy X-ray, X-ray microprobe, synchrotron radiation