日本分光学会では,顕微分光・テラヘルツ分光・赤外ラマン分光など9つの専門部会がそれぞれ独自の活動を行っています。本シンポジウムは,「レーザー学会」・「ペタワットレーザー駆動による単色量子ビームの科学の研究会(大阪大学レーザーエネルギー学研究センター及び(独)日本原子力研究開発機構による連携融合研究)」・「日本分光学会極端紫外分光部会」の合同企画により開催されます。
本シンポジウムでは、32nm技術ノード以降の半導体リソグラフィ技術として最有力視されているプラズマEUV光源開発の現状を含め,更にその他関連する短波長プラズマ光源開発について,各分野の最先端で研究開発に従事する方々をお招きしてその最前線についてご講演頂きます。 |
日 時 |
平成20年12月10日(水)13時〜11日(木)18時 |
会 場 |
九州大学医学部総合研究棟1F105セミナー室
福岡市東区馬出3-1-1 |
会場へのアクセス |
http://www.kyushu-u.ac.jp/access/index.php |
参加費 |
無料 |
懇親会 |
10日(水)夕刻に開催予定(別途会費を徴収させていただきます) |
講演申込み締切り |
平成20年10月31日(水) |
問い合わせ窓口 |
九州大学 高橋 昭彦
E-mail:takahashi@shs.kyushu-u.ac.jp
TEL:092-642-6725 FAX:092-642-6674 |
※本シンポジウム1日目(12/10(水))は、(社)レーザー学会第381回研究会「短波長光の発生とその応用」との併催になっておりますので、上記まで参加講演を申し込まれた方は、シンポジウム2日目(12/11(木))にご講演いただくことになります。 皆様方からの積極的なご参加をお待ちいたしております。 |